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碳化硅激光退火装备
本装备用于碳化硅的欧姆退火工艺，具备裸片自动上下料、晶圆自动校准等功效。 加工工艺效果优异；加工效率高；装备运行无需耗材，加工成本较低。
■ 装备优势
◆ 激光器自制，自主可控
◆ 工艺窗口较广，可兼容其他质料的退火要求
◆ 切合SEMI行业尺度
■ 应用领域
应用于碳化硅晶圆片的背金激光退火（以碳化硅质料为基板的晶圆）。
更多信息
咨询电话：0512-6507 0150
电子邮箱：yj.tao@hf96.com
